真空計コントローラ

コスモシステムがご提案する「真空計コントローラ」

福岡県の「コスモシステム」が取り扱っている「真空計コントローラ」です。
九州・中国・四国はもとより、関東・関西全域の大学・企業・研究施設への納入実績も多数。
導入・調達だけでなく、アフターメンテナンスまで責任を持って対応いたします。

真空計コントローラ(GVC2200)

真空計コントローラ(GVC2200)

真空計コントローラ(GVC2200)について

モデルGVC2200ホットカソードベースの真空計コントローラは、超高真空から大気圧以上まで測定するホットカソードイオン化、対流ゲージ、キャパシタンスマノメータの技術を組み合わせています。1つのイオン化ゲージと2つの対流ゲージを同時に使用するシステムまたはプロセスの最大4箇所の圧力測定が可能です。また、独立して調整可能なプロセス制御設定点を6つまで設定できます。これにより、プロセス関連の機能の自動化が可能になります。

特徴
  • ・コンパクトサイズ、操作パネルの省スペース
  • ・最大4チャンネル使用可能
  • ・128 * 64ドットグラフィックLCDからすべてのデータを簡単に読み取ることができます
  • ・6つの設定点は、圧力関連のプロセスまたはシステム機能の制御を提供します
  • ・イオン化ゲージ保護機能(1×10 -3Torr以上で自動的に消灯)
  • ・デガースタイムコントロール
  • ・ステータスウィンドウ(SP&IGオン/オフなど)によって示されるステータス
  • ・ゼロ&ATMのデジタルキャリブレーション
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 241mm - Half Rack Mounting ears
縦幅 88mm - 2 U Rack
深さ 250mm(コネクタスペースは含まず)
入力電力 デフォルト:195?265VAC @ 50 / 60Hz 85VA(最大)
オプション:98?135VAC @ 50 / 60Hz 85VA
ヒューズ定格 250VAC @3 A
出力電力 +/- 15VDC ±5% @2.7A
動作温度 0 ~ 50°C
入力信号 MFCの場合は0?5.000VDC
キャパシタンスマノメータの場合は0?10.000VDC
出力信号 MFCフローコマンドの場合は0?5.000VDC
表示ウィンドウ 128 * 64ドットグラフィックLCD
表示単位 MFCの場合、sccm、slm
CMの場合、Torr
インタフェース RS-232C PCインターフェース、
TTLフローのオン/オフインターフェイス

取り扱い製品一覧

真空装置

各種真空機器をご紹介します。

真空装置

・スパッタリング装置
・真空排気装置
・真空蒸着装置
・高速回転装置
・ターボ分子ポンプ排気セット

詳しくはこちら

ガス発生装置

ガス発生装置をご紹介します。

ガス発生装置<

・ミニ窒素ガス発生装置
・超小型ガス発生装置(窒素)
・超小型ガス発生装置(酸素)

詳しくはこちら

真空部品

各種真空部品をご紹介します。

真空部品

・マスフローコントローラ
・エキゾーストスロットバルブ
・プレッシャー&フローコントローラ
・P/S&フローコントローラ
・フロー&プレッシャーコントローラ

・真空計コントローラ
・熱陰極電離真空計
・空冷式ドライポンプ
・オートプレッシャーコントローラー
・ターゲット回転機構

・溶接ベローズ
・Z軸ステージ
・超高真空ゲートバルブ
・コンビネーションゲージ
・P/S&圧力表示ユニット
・真空計コントローラ
・ミニチュアイオンゲージ

詳しくはこちら

  • tel:0940-35-5750
  • お問い合わせ

このページの先頭へ