マスフローコントローラ

コスモシステムがご提案する「マスフローコントローラ」

福岡県の「コスモシステム」が取り扱っている「マスフローコントローラ」です。
九州・中国・四国はもとより、関東・関西全域の大学・企業・研究施設への納入実績も多数。
導入・調達だけでなく、アフターメンテナンスまで責任を持って対応いたします。

マスフローコントローラ(AFC 500/AFC 600)

マスフローコントローラ(AFC 500/AFC 600)

マスフローコントローラ(AFC500/AFC600)について

AFC500・AFC600マスフローコントローラガスの質量流量は、与えられたの設定点に従って流量を制御します。
制御範囲はフルスケールの2?100%で、フルスケールの±1%の精度です。

各マスフローコントローラは、10~50,000sccm(N2当量)の範囲で利用可能。
また、ポイントコマンドを設定し、電力を供給することで、補完的なATOVAC装置(タイプGMC1200、GMC220、GMC300D、GMC50)を表示します。

■AFC500

特徴
  • ・正確なフルスケール流量制御範囲は、10sccmから50slmまでです。
  • ・迅速なウォームアップ時間により、貴重な生産停止時間を最小限に抑えます。
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
フルスケール範囲(N2相当)  10,20,50,100,200,500,1000,
2000,5000,10000,20000 SCCM
最大使用圧力  150 psig
標準動作圧力差
(MFCコンセントの大気圧を使用)
10?5000sccm 10~40 psid
10000?20000sccm 15~40 psid
制御範囲  フルスケールの2%~100%
精度(アナログ)
(非直線性、ヒステリシス、および760mmhgおよび0℃を基準とする非再現性を含む) 
フルスケールの±1.0%
併行精度  フルスケールの±0.2%
温度係数 ゼロ <0.05% of F.S./°C
スパン <0.05% of Rdg./°C
応答時間
(通常時F.S.の0.2%まで) 
<2 min
セトリング時間  <2 sec
圧力係数  <0.02% of Rdg./psi
標準動作温度範囲  0°C ~ 50°C
必要入力電圧 極大電流始動時
(最初の2秒)
±15 VDC(±5%) @ 200 mA
標準状態での標準電流時 ±15 VDC(±5%) @ 100 mA
セットポイント指令信号  0?5VDC
出力信号  0?5VDC
アナログコネクタ  No.9 Dタイプ
標準タイプの接液材料
(シールおよびバルブシート) 
316L S.S. , VitonR
継手  SwagelokR4 VCR ,1/4” SwagelokR

■AFC600

特徴
  • ・繰り返し可能な流量測定および制御で、フルスケール流量範囲は10sccmから50slmまで正確です。
  • ・迅速なウォームアップ時間により、高価な生産停止時間を最小限に抑えます。
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
フルスケール範囲(N2相当)  10,20,50,100,200,500,1000,
2000,5000,10000,20000 SCCM
最大使用圧力  150 psig
標準動作圧力差
(MFCコンセントの大気圧を使用)
10?5000sccm 10~40 psid
10000?20000sccm 15~40 psid
制御範囲  フルスケールの2%~100%
精度(アナログ)
(非直線性、ヒステリシス、および760 mmhgおよび0℃を基準とする非再現性を含む) 
フルスケールの±1.0%
併行精度  フルスケールの±0.2%
温度係数 ゼロ <0.05% of F.S./°C
スパン <0.05% of Rdg./°C
応答時間
(通常時F.S.の0.2%まで) 
<2 min
セトリング時間  <2 sec
圧力係数  <0.02 % of Rdg./psi
標準動作温度範囲  0°C ~ 50°C
必要入力電圧 極大電流始動時
(最初の2秒)
±15 VDC(±5%) @ 200 mA
標準状態での標準電流時 ±15 VDC(±5%) @ 100 mA
セットポイント指令信号  0?5VDC
出力信号  0?5VDC
アナログコネクタ  No.9 Dタイプ
標準タイプの接液材料
(シールおよびバルブシート) 
316L S.S., Teflon Seal (PTFE)
継手  SwagelokR4 VCR ,1/4” SwagelokR

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