フロー&プレッシャーコントローラ

コスモシステムがご提案する「フロー&プレッシャーコントローラ」

福岡県の「コスモシステム」が取り扱っている「フロー&プレッシャーコントローラ」です。
九州・中国・四国はもとより、関東・関西全域の大学・企業・研究施設への納入実績も多数。
導入・調達だけでなく、アフターメンテナンスまで責任を持って対応いたします。

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)について

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)は、電源に+/- 15 VDCを供給し、接続されたMFC(マスフローコントローラ)に読み取りを提供します。これは、流量計またはコントローラを制御および表示するように設計されています。流量設定値(0?5VDC)は、フロントパネルのコントロールまたはリアパネルのRS232C PCインターフェイスを介してリモートで調整することができますフロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)は、マスフローコントローラーの代わりに接続された静電容量マノメーターのための読み出し圧力信号を提供します。フローコントロールボードの代わりに容量マノメータのディスプレイボードを取り付ける必要があります。表示する圧力信号は0?10VDCのみです。

特徴
  • ・マイクロプロセッサベースのコントローラ
  • ・使用した16ビットバイポーラA / Dコンバータ
  • ・グラフィックLCD(128 * 64ドット)で表示
  • ・ユーザーが選択可能な流量と圧力の単位
  • ・設定値などのユーザーフレンドリーな数値ボタンデータ入力
  • ・最大8チャネルのMFC制御出力(2,4,6,8チャネル使用可能)
  • ・ガス混合比機能
  • ・積算関数
  • ・自動アップストリーム圧力制御機能
  • ・RS-232C PCインターフェイス、TTLフローオン/オフコマンドが利用可能
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 241mm - Half Rack Mounting ears
縦幅 88mm - 2 U Rack
深さ 200mm
重さ 約1.5kg?2kgs(オプションによる)
入力電力 デフォルト:195?265VAC @ 50 / 60Hz 85VA(最大)
オプション:98?135VAC @ 50 / 60Hz 85VA?
ヒューズ定格 250VAC @3 A
出力電力 +/- 15VDC ±5% @2.7A
動作温度 0 ~ 50°C
入力信号 MFCの場合は0?5.000VDC
キャパシタンスマノメータの場合は0?10.000VDC
出力信号 MFCフローコマンドの場合は0?5.000VDC
表示ウィンドウ 128 * 64ドットグラフィックLCD
表示単位 sccm、MFCの場合はslm
CMの場合はTorr
インタフェース RS-232C PCインターフェース、
TTLフローのオン/オフインターフェイス

取り扱い製品一覧

真空装置

各種真空機器をご紹介します。

真空装置

・スパッタリング装置
・真空排気装置
・真空蒸着装置
・高速回転装置
・ターボ分子ポンプ排気セット

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ガス発生装置

ガス発生装置をご紹介します。

ガス発生装置<

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・超小型ガス発生装置(窒素)
・超小型ガス発生装置(酸素)

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真空部品

・マスフローコントローラ
・エキゾーストスロットバルブ
・プレッシャー&フローコントローラ
・P/S&フローコントローラ
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・真空計コントローラ
・熱陰極電離真空計
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