エキゾーストスロットバルブ

コスモシステムがご提案する「エキゾーストスロットバルブ」

福岡県の「コスモシステム」が取り扱っている「エキゾーストスロットバルブ」です。
九州・中国・四国はもとより、関東・関西全域の大学・企業・研究施設への納入実績も多数。
導入・調達だけでなく、アフターメンテナンスまで責任を持って対応いたします。

エキゾーストスロットバルブ(ATV 1000)

エキゾーストスロットバルブ(ATV 1000)

エキゾーストスロットルバルブATV1000について

エキゾーストスロットルバルブATM1000は、下流側の圧力制御システムの3つのうちの1つです。
プレッシャー&フローコントローラ(GPC3000)やキャパシタンス・マノメータなどのデジタルPIDコントローラと組み合わせると、ATV1000バルブは迅速で再現可能なセットポイント制御を提供します。
CMゲージはチャンバ圧力を感知し、圧力コントローラ内の所望の設定点圧力と比較します。

特徴

・エキゾーストスロットルバルブATM1000は、広範囲の圧力制御コンダクタンス用に設計されており、密閉式および大型バルブ用の高トルク定格を備えています。
・エキゾーストスロットルバルブATM1000は、システムのトラブルシューティング操作中のバルブ角度を識別するためのフラッパポジションインジケータがあります。
・エキゾーストスロットルバルブATM1000既存のハードウェアとの接合が簡単に行えるように、ほとんどの一般的なフランジスタイル(ASA、CF、ISO-NW、KF)で使用できます。

外形寸法図

外形寸法図

仕様
スピード(開始から終了まで) 1.5秒
駆動方法 ダイレクトギアドライブ
バルブ本体の動作最大温度 最大バルブ本体標準0?100
オプション:0?150(注1)動作温度
バルブモータ周囲温度 -20?+40
バルブ通過差圧 最大1気圧(15psig)
シャフトシールでの外部漏れ 1x10-8 scc/sec He
接触素材 標準:304 S.S.、バイトン(注2)
オプション:316 S.S.、Viton(注2)
互換コントローラ モデルGPC3000
MKSタイプ651,1651
ドライブ出力トルク
(モデルGPC3000またはMKSタイプ651)
800オンス
閉鎖漏れ
(フラッパーOリング付きバルブ)
<10-7(Torr l/s)
フランジスタイル:
ISO-NW
ASA
CF
JIS
KF
注釈:
1.シャフトシールとフラッパーで構成
シールOリング材料。
2. Vitonを使用する場合、他の材料
ご利用いただけます。
アプリケーションエンジニアリングにお問い合わせください。

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