真空機器

コスモシステムがご提案する「真空機器」

福岡県宗像市の「コスモシステム」がご提案する真空機器についてご紹介します。応用物理学会員の竜口が
代表を務める当社には、九州・中国・四国・関西・中部・関東の大学・企業・研究施設へ真空装置や真空部品
を納入した実績が多数あります。真空実験に関するノウハウや機器の専門知識を活かして
アフターメンテナンスまでワンストップで対応いたしますので、何でもご相談ください。

コスモシステムの取り扱い真空機器

当社では、ご注文を受けてから真空部品を輸入・調達し、真空計・真空ポンプ・真空バルブ・空冷式ドライポンプ・真空チャンバーなどの機器を製作しております。こちらに記載のないタイプのご提案も可能ですので、不明点やご質問などございましたら、お気軽にお問い合わせください。

キャパシタンスマノメータ(ACM200/ACM300/ACM350)

キャパシタンスマノメータ(ACM200/ACM300/ACM350)

ACMシリーズについて

ACMシリーズは、1000Torr〜1.0Torrのフルスケールの範囲で、正確で信頼性の高い再現性のある圧力測定を提供するように設計された、汎用圧力トランスデューサのAtovacファミリの一部です。これらの計器は±15VDCで動作し、0~10VDCの出力リニアを圧力で供給します。

■ACM200

特徴
  • ・フルスケールは1Torrの低さ。
  • ・全圧を直接測定する、ガス組成に依存しない。
  • ・優れた長期安定性
  • ・より正確な出力のための読みやすさのパーセンテージより低い圧力範囲の信号
  • ・従来のACMシリーズ、ATOVAC電源および読み出しモジュール。
外形寸法図

外形寸法図

仕様
圧力範囲
(mmHgフルスケール)
1, 2, 10, 100, 1000
使用可能な測定範囲 フルスケールに対し0.0001%
精度
(非直線性、ヒステリシス、非繰り返し性)
0.25% of Reading
温度係数 ゼロ電圧 0.002% F.S/°C
スパン電圧 0.02% Reading/°C
使用温度範囲 0°C ~ 50°C
ボリューム(Px side) 6.3 cc
接ガス部 材質 インコネル
極限過圧 45 psia (310 kpa)
入力電源 ±15VDC (±5%) @ 35 mA
出力 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
フィッティング 8 VCR female, NW1C12:C156KF

■ACM300

特徴
  • ・0.1Torr程度のフルスケール。
  • ・全圧を直接測定する、ガス組成に依存しない。
  • ・優れた長期安定性
  • ・より正確な出力のための読みやすさのパーセンテージより低い圧力範囲の信号
  • ・従来のACMシリーズ、ATOVAC電源および読み出しモジュール。
外形寸法図

外形寸法図

仕様
圧力範囲
(mmHgフルスケール)
0.1, 1, 2, 10, 100, 1000
使用可能な測定範囲 フルスケールに対し0.0001%
精度
(非直線性、ヒステリシス、非繰り返し性)
0.25% of Reading
温度係数 ゼロ電圧 0.002% F.S/°C
スパン電圧 0.02% Reading/°C
使用温度範囲 15°C ~ 40°C
ボリューム(Px side) 6.3 cc
接ガス部 材質 インコネル
極限過圧 45 psia (310 kpa)
入力電源 ±15VDC (±5%) @ 250 mA(max)
出力 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
フィッティング 8 VCR female, NW16KF

■ACM350

特徴
  • ・0.1Torr程度のフルスケール範囲。
  • ・ガス組成とは無関係に直接全圧を測定する。
  • ・優れた長期安定性
  • ・低い圧力範囲でより正確な出力信号を得るための読取り精度のパーセンテージ
  • ・以前のACMシリーズ、ATOVAC電源および読み出しモジュールと互換性があります。
外形寸法図

外形寸法図

仕様
圧力範囲
(mmHgフルスケール)
0.1, 1, 2, 10, 100, 1000
使用可能な測定範囲 フルスケールに対し0.0001%
精度
(非直線性、ヒステリシス、非繰り返し性)
0.25% of Reading
温度係数 ゼロ電圧 0.002% F.S/°C
スパン電圧 0.02% Reading/°C
使用温度範囲 15°C ~ 40°C
ボリューム(Px side) 6.3 cc
接ガス部 材質 インコネル
極限過圧 45 psia (310 kpa)
入力電源 ±15VDC (±5%) @ 250 mA(max)
出力 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
フィッティング 8 VCR female, NW16KF
マスフローコントローラ(AFC 500/AFC 600)

マスフローコントローラ(AFC 500/AFC 600)

マスフローコントローラ(AFC500/AFC600)について

AFC500・AFC600マスフローコントローラガスの質量流量は、与えられたの設定点に従って流量を制御します。
制御範囲はフルスケールの2〜100%で、フルスケールの±1%の精度です。

各マスフローコントローラは、10~50,000sccm(N2当量)の範囲で利用可能。
また、ポイントコマンドを設定し、電力を供給することで、補完的なATOVAC装置(タイプGMC1200、GMC220、GMC300D、GMC50)を表示します。

■AFC500

特徴
  • ・正確なフルスケール流量制御範囲は、10sccmから50slmまでです。
  • ・迅速なウォームアップ時間により、貴重な生産停止時間を最小限に抑えます。
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
フルスケール範囲(N2相当)  10,20,50,100,200,500,1000,
2000,5000,10000,20000 SCCM
最大使用圧力  150 psig
標準動作圧力差
(MFCコンセントの大気圧を使用)
10〜5000sccm 10~40 psid
10000〜20000sccm 15~40 psid
制御範囲  フルスケールの2%~100%
精度(アナログ)
(非直線性、ヒステリシス、および760mmhgおよび0℃を基準とする非再現性を含む) 
フルスケールの±1.0%
併行精度  フルスケールの±0.2%
温度係数 ゼロ <0.05% of F.S./°C
スパン <0.05% of Rdg./°C
応答時間
(通常時F.S.の0.2%まで) 
<2 min
セトリング時間  <2 sec
圧力係数  <0.02% of Rdg./psi
標準動作温度範囲  0°C ~ 50°C
必要入力電圧 極大電流始動時
(最初の2秒)
±15 VDC(±5%) @ 200 mA
標準状態での標準電流時 ±15 VDC(±5%) @ 100 mA
セットポイント指令信号  0〜5VDC
出力信号  0〜5VDC
アナログコネクタ  No.9 Dタイプ
標準タイプの接液材料
(シールおよびバルブシート) 
316L S.S. , Viton®
継手  Swagelok®4 VCR ,1/4” Swagelok®

■AFC600

特徴
  • ・繰り返し可能な流量測定および制御で、フルスケール流量範囲は10sccmから50slmまで正確です。
  • ・迅速なウォームアップ時間により、高価な生産停止時間を最小限に抑えます。
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
フルスケール範囲(N2相当)  10,20,50,100,200,500,1000,
2000,5000,10000,20000 SCCM
最大使用圧力  150 psig
標準動作圧力差
(MFCコンセントの大気圧を使用)
10〜5000sccm 10~40 psid
10000〜20000sccm 15~40 psid
制御範囲  フルスケールの2%~100%
精度(アナログ)
(非直線性、ヒステリシス、および760 mmhgおよび0℃を基準とする非再現性を含む) 
フルスケールの±1.0%
併行精度  フルスケールの±0.2%
温度係数 ゼロ <0.05% of F.S./°C
スパン <0.05% of Rdg./°C
応答時間
(通常時F.S.の0.2%まで) 
<2 min
セトリング時間  <2 sec
圧力係数  <0.02 % of Rdg./psi
標準動作温度範囲  0°C ~ 50°C
必要入力電圧 極大電流始動時
(最初の2秒)
±15 VDC(±5%) @ 200 mA
標準状態での標準電流時 ±15 VDC(±5%) @ 100 mA
セットポイント指令信号  0〜5VDC
出力信号  0〜5VDC
アナログコネクタ  No.9 Dタイプ
標準タイプの接液材料
(シールおよびバルブシート) 
316L S.S., Teflon Seal (PTFE)
継手  Swagelok®4 VCR ,1/4” Swagelok®
エキゾーストスロットバルブ(ATV 1000)

エキゾーストスロットバルブ(ATV 1000)

エキゾーストスロットルバルブATV1000について

エキゾーストスロットルバルブATM1000は、下流側の圧力制御システムの3つのうちの1つです。
プレッシャー&フローコントローラ(GPC3000)やキャパシタンス・マノメータなどのデジタルPIDコントローラと組み合わせると、ATV1000バルブは迅速で再現可能なセットポイント制御を提供します。
CMゲージはチャンバ圧力を感知し、圧力コントローラ内の所望の設定点圧力と比較します。

特徴

・エキゾーストスロットルバルブATM1000は、広範囲の圧力制御コンダクタンス用に設計されており、密閉式および大型バルブ用の高トルク定格を備えています。
・エキゾーストスロットルバルブATM1000は、システムのトラブルシューティング操作中のバルブ角度を識別するためのフラッパポジションインジケータがあります。
・エキゾーストスロットルバルブATM1000既存のハードウェアとの接合が簡単に行えるように、ほとんどの一般的なフランジスタイル(ASA、CF、ISO-NW、KF)で使用できます。

外形寸法図

外形寸法図

仕様
スピード(開始から終了まで) 1.5秒
駆動方法 ダイレクトギアドライブ
バルブ本体の動作最大温度 最大バルブ本体標準0〜100
オプション:0〜150(注1)動作温度
バルブモータ周囲温度 -20〜+40
バルブ通過差圧 最大1気圧(15psig)
シャフトシールでの外部漏れ 1x10-8 scc/sec He
接触素材 標準:304 S.S.、バイトン(注2)
オプション:316 S.S.、Viton(注2)
互換コントローラ モデルGPC3000
MKSタイプ651,1651
ドライブ出力トルク
(モデルGPC3000またはMKSタイプ651)
800オンス
閉鎖漏れ
(フラッパーOリング付きバルブ)
<10-7(Torr l/s)
フランジスタイル:
ISO-NW
ASA
CF
JIS
KF
注釈:
1.シャフトシールとフラッパーで構成
シールOリング材料。
2. Vitonを使用する場合、他の材料
ご利用いただけます。
アプリケーションエンジニアリングにお問い合わせください。
プレッシャー&フローコントローラ(GPC3000)

プレッシャー&フローコントローラ(GPC3000)

プレッシャー&フローコントローラ(GPC3000)について

プレッシャー&フローコントローラ(GPC3000)は、スロットルバルブ用のデジタルPID圧力コントローラーで、電源に+/- 15VDCを供給し、取り付けられた静電容量式マノメーターと4つのマスフローコントローラーに読み取り値を提供することができます。

特徴
  • ・マイクロプロセッサベースのコントローラ
  • ・16ビットバイポーラA / Dコンバータ使用
  • ・グラフィックLCD(128×64ドット)で表示
  • ・設定値などのユーザーフレンドリーな数値ボタン入力
  • ・最大4チャンネルMFCコントロール出力(2,4チャンネル対応)
  • ・自動ダウンストリーム圧制御機能
  • ・RS-232C PCインタフェース、TTLフローOn / Offコマンド対応
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
作動するバルブ  エキゾーストスロットバルブATV1000、MKSタイプ
653および253エキゾーストスロットバルブ、その他
圧力入力信号  標準:0-10VDC
必要な入力電力  90-132または180-264VAC、50 / 60Hz
セットポイント プログラマブル 5つの合計、圧力または位置の任意の組み合わせでプログラム可能(前面パネルまたはRS232から調整可能、フロントパネル、TTL、またはRS232から選択可能)
外部アナログ 0〜10VDC
コントローラの再現性  フルスケールに対し±0.1%
周囲動作温度  15℃ ~ 45℃
出力電力  ±15VDC±5% @1.5A
アナログ出力信号  0〜100%バルブ位置に対しては0〜10 VDC、
1〜100%フルスケールに対して0〜10 VDC圧力
サイズ  1/2ラックパッキング:88mm H x 241mm W x 225 D
ディスプレイ  128 x 64ドットグラフィックLCD(圧力、位置および外部設定値の読み出し)
表示単位
ソフトスタート 
Torr、mTorr、mbar、Pascal、cmH2O、inH2O、μbar、Kpa
標準
PID制御  標準
リモートゼロ  標準
インタフェース  フロントパネル、アナログ、TTL、RS232
リレー出力  2、プロセス制限:24V AC / DC
0.5Ampの抵抗
リモートコントロールオーバーライド
(オープン、クローズ、ホールド) 
標準
位置制御機能  標準
バッテリバックアップ  N/A
P/S&フローコントローラ(GMC50/GMC220/GMC300D)

P/S&フローコントローラ(GMC50/GMC220/GMC300D)

GMC50 について

Model GMC50は、MFCに電力を供給し、アナログ信号を取って実際のガス流量値をMFCで表示し、フロントパネルで制御したい設定値を導入し、簡単なボタンスイッチで実際の流量値で確認するように設計されています。また、接続されたMFCのフルスケール範囲を入力することができ、接続されたMFCに他のガスを使用する場合にガス補正係数を設定するために使用されます。

特徴
  • ・低コスト、高性能、1チャンネルのみ
  • ・12ビットバイポーラA / Dコンバータ使用
  • ・3 1/2桁の7セグメントLEDで表示
  • ・ZERO&Fullスケールのアナログ校正
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 120.5mm
縦幅 44mm
深さ 205mm
重さ 約500g
入力電力 98 ~ 265VAC @50/60 Hz 20VA
ヒューズ定格 250VAC @3 A
出力電力 +/- 15VDC ±5% @0.5A
動作温度 15 ~ 45°C
入力信号 0 ~ 5.000VDC
出力コマンド信号 0 ~ 5.000VDC
表示ウィンドウ 3 1/2、7セグメントLED(最大1999)実際のフローまたは設定値表示
フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)について

フロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)は、電源に+/- 15 VDCを供給し、接続されたMFC(マスフローコントローラ)に読み取りを提供します。これは、流量計またはコントローラを制御および表示するように設計されています。流量設定値(0〜5VDC)は、フロントパネルのコントロールまたはリアパネルのRS232C PCインターフェイスを介してリモートで調整することができますフロー&プレッシャーコントローラ(GMC1200)は、マスフローコントローラーの代わりに接続された静電容量マノメーターのための読み出し圧力信号を提供します。フローコントロールボードの代わりに容量マノメータのディスプレイボードを取り付ける必要があります。表示する圧力信号は0〜10VDCのみです。

特徴
  • ・マイクロプロセッサベースのコントローラ
  • ・使用した16ビットバイポーラA / Dコンバータ
  • ・グラフィックLCD(128 * 64ドット)で表示
  • ・ユーザーが選択可能な流量と圧力の単位
  • ・設定値などのユーザーフレンドリーな数値ボタンデータ入力
  • ・最大8チャネルのMFC制御出力(2,4,6,8チャネル使用可能)
  • ・ガス混合比機能
  • ・積算関数
  • ・自動アップストリーム圧力制御機能
  • ・RS-232C PCインターフェイス、TTLフローオン/オフコマンドが利用可能
  • ・CEマーク対応
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 241mm - Half Rack Mounting ears
縦幅 88mm - 2 U Rack
深さ 200mm
重さ 約1.5kg〜2kgs(オプションによる)
入力電力 デフォルト:195〜265VAC @ 50 / 60Hz 85VA(最大)
オプション:98〜135VAC @ 50 / 60Hz 85VA 
ヒューズ定格 250VAC @3 A
出力電力 +/- 15VDC ±5% @2.7A
動作温度 0 ~ 50°C
入力信号 MFCの場合は0〜5.000VDC
キャパシタンスマノメータの場合は0〜10.000VDC
出力信号 MFCフローコマンドの場合は0〜5.000VDC
表示ウィンドウ 128 * 64ドットグラフィックLCD
表示単位 sccm、MFCの場合はslm
CMの場合はTorr
インタフェース RS-232C PCインターフェース、
TTLフローのオン/オフインターフェイス
P/S&圧力表示ユニット(GPD-5)

P/S&圧力表示ユニット(GPD-5)

GPD-5 について

Mode GPD-5電源&圧力読み出しユニットは、キャパシタンスマノメータから測定した真空圧力を表示します。GPD-5は+/- 15VDCの電圧を最大500mAmpで供給します。GPD-5は、CMから0〜10Vの信号を正確に測定します。GPD-5には、圧力が所望のトリップ点から逸脱しているかどうかを示す2つのプロセス限界リレーがあります。

特徴
  • ・低価格
  • ・RS-232インターフェイス
  • ・リニアアナログ出力
  • ・2つのプロセスリレー設定点
  • ・コンパクトサイズ
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 96mm
縦幅 48mm
深さ 184mm
重さ 約800〜900gs
(オプションによって異なります)
入力電力 85 ~ 265VAC @50/60 Hz 20Watts
ヒューズ定格 250VAC @3A
出力電力 +/- 15VDC ±5% @500mA
入力信号 0〜5.000VDC
0〜10.000VDC  - デフォルト
表示ウィンドウ 128 * 32ドットグラフィックLCD
キャパシタンスマノメータ5桁
リレー接触率
(抵抗負荷)
30VDC @1A, 125VAC @0.5A
真空計コントローラ(GVC2200)

真空計コントローラ(GVC2200)

真空計コントローラ(GVC2200)について

モデルGVC2200ホットカソードベースの真空計コントローラは、超高真空から大気圧以上まで測定するホットカソードイオン化、対流ゲージ、キャパシタンスマノメータの技術を組み合わせています。1つのイオン化ゲージと2つの対流ゲージを同時に使用するシステムまたはプロセスの最大4箇所の圧力測定が可能です。また、独立して調整可能なプロセス制御設定点を6つまで設定できます。これにより、プロセス関連の機能の自動化が可能になります。

特徴
  • ・コンパクトサイズ、操作パネルの省スペース
  • ・最大4チャンネル使用可能
  • ・128 * 64ドットグラフィックLCDからすべてのデータを簡単に読み取ることができます
  • ・6つの設定点は、圧力関連のプロセスまたはシステム機能の制御を提供します
  • ・イオン化ゲージ保護機能(1×10 -3Torr以上で自動的に消灯)
  • ・デガースタイムコントロール
  • ・ステータスウィンドウ(SP&IGオン/オフなど)によって示されるステータス
  • ・ゼロ&ATMのデジタルキャリブレーション
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 241mm - Half Rack Mounting ears
縦幅 88mm - 2 U Rack
深さ 250mm(コネクタスペースは含まず)
入力電力 デフォルト:195〜265VAC @ 50 / 60Hz 85VA(最大)
オプション:98〜135VAC @ 50 / 60Hz 85VA
ヒューズ定格 250VAC @3 A
出力電力 +/- 15VDC ±5% @2.7A
動作温度 0 ~ 50°C
入力信号 MFCの場合は0〜5.000VDC
キャパシタンスマノメータの場合は0〜10.000VDC
出力信号 MFCフローコマンドの場合は0〜5.000VDC
表示ウィンドウ 128 * 64ドットグラフィックLCD
表示単位 MFCの場合、sccm、slm
CMの場合、Torr
インタフェース RS-232C PCインターフェース、
TTLフローのオン/オフインターフェイス
対流計コントローラ(CG2000)

対流計コントローラ(CG2000)

対流計コントローラ(CG2000)について

CG2000対流計コントローラは、8.0 x 10_4〜1000Torrの計測値を示します。それは2つの独立して調整可能なプロセス制御設定点を有する。これにより、プロセス関連の機能の自動化が可能になります。RS-232またはRS 485プロトコルを使用してPCに接続できます。

特徴
  • ・低コスト、高性能
  • ・7セグメントLEDで表示。
  • ・2つのトリップポイントリレー。
  • ・16ビットA / Dコンバータを使用。
  • ・ZERO&ATMのデジタルキャリブレーション。
外形寸法図

外形寸法図

仕様
横幅 96mm
縦幅 96mm
深さ 200mm
重さ 約800g
必要入力電力 98 ~ 265VAC @50/60 Hz,
ヒューズ定格 250VAC @3 A
出力電力 +15VDC ±5%, 800mA
-15VDC ±5%, 300mA
動作温度 0 ~ 50°C
圧力範囲 8.0x10-4 ~ 1000Torr
表示ウィンドウ 7セグメントLED
リレー 2トリップポイントリレー
表示単位 Torr, mbar, Pascal
インタフェース RS-232C PC、アナログ出力
RS-485(オプション)
熱陰極電離真空計

熱陰極電離真空計

仕様
ゲージタイプ ETIシリーズ4336および、任意のBayard-Alpert Gauges
取付位置 垂直
エンベロープ Nonex 7720 Glass
集計 3/4 "、1" PyrexまたはNonex Glass、3/4 "、1" Kovar、フランジ使用可能
コレクタ 0.005″Tungsten
フィラメント 0.005 "TunThoria被覆イリジウム(単一)
またはタングステン(二重)
グリッド タングステン・ヘリックス構成
作動圧力 1.0×10-10 to 1.0×10-3 Torr
ベークアウト温度 250°C
コレクターポテンシャル 0ボルト
シールドポテンシャル N/A
グリッドポテンシャル +150 ~+180VDC
フィラメント電流 4 ~ 6Amps
フィラメント電圧 3 ~ 5VDC
フィラメントポテンシャル +30VDC
空冷式ドライポンプ

空冷式ドライポンプ

オートプレッシャーコントローラー

オートプレッシャーコントローラー

ターゲット回転機構

ターゲット回転機構

フルジャケット球形チャンバー

フルジャケット球形チャンバー

真空チャンバー

真空チャンバー

真空チャンバー

真空チャンバー

溶接ベローズ

溶接ベローズ

Z軸ステージ

Z軸ステージ

超高真空ゲートバルブ

超高真空ゲートバルブ

コンビネーションゲージ

コンビネーションゲージ

ミニチュアイオンゲージ

ミニチュアイオンゲージ

ピラニ真空計

ピラニ真空計

仕様
ゲージタイプ ATovacSeries202
取付位置 水平
フィラメント プラチナ99.999%
作動圧力 8.0×10-4 to 1000 Torr
動作温度 0 ~ 50°C
最大ベーキング温度 50°C
フランジ NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF、
ミニCF、回転可能
内部ボリューム 約40cc

※センサ線の交換が可能です

コンベクションピラニゲージ

コンベクションピラニゲージ

その他多数取り揃えております。まずはお問い合わせ下さい。

  • tel:0940-35-5750
  • お問い合わせ

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